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    影響真空泵極限真空度的因素

           渦旋真空泵按兩渦旋盤運動方式的不同可分為兩種類型:公轉型和回轉型。公轉型渦旋真空泵中的一個渦旋盤固定不動,稱為靜渦旋,另一個渦旋盤稱為動渦旋盤。密封問題是影響渦旋真空泵極限真空度的主要因素,壓縮氣體會通過側向間隙和軸向間隙返流,這就需要采用軸向和徑向密封來減少氣體返流。
           渦旋真空泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封,即齒頂密封,和徑向嚙合間隙的切向密封,即齒側密封。由于渦旋真空泵的型線特性,吸氣腔與排氣腔沒有直接相連,中間存在壓縮腔,所以相鄰工作腔間的壓差不大,較易密封氣體。軸向間隙為動渦旋盤齒頂端與靜渦旋盤盤面以及靜渦旋盤齒頂端與動渦旋盤盤面之間存在的間隙。常在動渦旋盤和靜渦旋盤的齒頂面上開設與渦旋齒型線相同的渦旋槽,并在渦旋槽內嵌入特種材料的密封條來密封。由于密封條與渦旋盤盤面之間存在相對運動,所以要求密封材料具有耐磨、耐高溫的特性。
           極限真空度是渦旋真空泵的主要性能指標,齒頂密封和齒側密封是影響極限真空度的主要因素。密封效果主要受加工精度、材質和表面處理等因素決定,所以提高加工精度,改善渦旋盤材料,合理的表面處理可提高密封效果,這需要較多領域的專家合作,共同努力實現。
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