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真空泵的工作原理
- 發布人：水環真空泵
- 時間：2018-12-29 09:35
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近年來，隨著真空技術應用領域的不斷擴大，各種真空獲得設備增長亦非常迅速。為滿足真空應用發展的需要，特別是老產品不斷更新，新產品不斷出現，真空獲得設備的發展正在進入一個新的時代。
羅茨真空泵特點是：降低泵的振動和噪聲，提高長期運行的可靠性，處理大量可凝性和揮發性氣體，降低能耗和運行成本，消除廢液處理和對環境的污染；要求耐腐蝕，耐粉塵以及獲得清潔、無油的真空環境等。在清潔或腐蝕性工藝中的應用，在半導體、平板顯示、薄膜太陽能電池以及其他工況條件非?？量痰幕?、制藥等行業，大都采用羅茨真空泵與干式真空泵組成的真空機組。
一方面可以減少干泵尺寸，提高機組在中真空范圍的抽速，另外極限真空也能提高一個數量級。根據羅茨泵的抽氣機理，從原則上來說應該是無油的，但是羅茨泵的轉子必須由軸承來支撐和精密的同步齒輪來傳動，這些軸承和齒輪均需要潤滑系統。
螺桿真空泵的工作原理如圖1所示，
它是由一對同步齒輪帶動一對逆向旋轉的螺桿保持一定間隙而實現非接觸的嚙合，為了減少泄漏，要求螺桿的加工精度很高。這種泵可以處理含一定量的液體和含有微小顆粒的工藝氣體，因而非常適用于半導體、太陽能薄膜、化工、制藥等應用領域。
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