真空泵應可以在其壓力下排出來真空技術加工工藝全過程中造成的全部汽體量。恰當組成真空泵。因為真空泵有可選擇性抽真空，即便挑選某一泵也將會不可以考慮抽真空規定，必須組成好多個泵，互相填補以考慮抽真空規定。如鈦提升泵對氫有很高的泵效，但不可以抽氦，而三極型磁控濺射離子泵，（或二極型非對稱加密負極磁控濺射離子泵）對氬有一定的泵效，二者組成起來，便會使真空泵設備獲得不錯的真空值。
真空泵在大氣壓力下沒法工作中，必須真空泵預備處理，真空泵的出入口工作壓力小于大氣壓力，必須前面泵，因而必須組成應用泵。真空技術對油環境污染的規定。若機器設備嚴格管理無油漬時，應當選各種各樣無汽油泵，如：水環泵、碳分子篩吸咐泵、磁控濺射離子泵、低溫泵等。假如規定不嚴苛，能夠 挑選有油式真空泵，再加一些抗油環境污染對策，亦或者冷阱、障板、擋油阱等，也可以做到清理真空泵規定。
真空泵應安裝在地面堅固堅固的場所，附近應空出充裕的室內空間，有益于檢查、維修保養、維修保養。真空泵底座下應保持路基工程水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用地腳螺絲澆制安裝，確保真空泵運作平穩，振動小。
真空泵與系統軟件的聯接管路應密封性靠譜，對小真空泵可選用金屬軟管路聯接密封墊片選用耐酸堿硫化橡膠，對小真空泵可選用真空泵橡膠軟管聯接，管路管經不可低于真空泵呼吸規格，且規定管道短而少彎管。（焊接鋼管路時應消除管路中焊渣，禁止焊穿進到真空泵腔。）
