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    真空泵的性能指標

           內壓縮干式螺桿真空泵由于體積小、能耗低、噪聲低成為當前一個研究熱點。干式螺桿真空泵成對螺桿之間、螺桿與泵體之間有一定的間隙,這些間隙的存在,在壓力差的作用下,產生氣體返流,不同的螺桿齒形會形成不同的通道類型,產生的氣體返流各不相同,氣體的返流嚴重影響著的抽氣效率、抽氣速率和極限壓力等真空泵的性能指標。
           通常情況下,螺桿真空泵入口工作壓力變化范圍廣,壓差大,隨著入口壓力逐漸變小,螺桿真空泵內部氣流從粘性流到分子流變化,同時,螺桿真空泵從入口到出口,三種流態幾乎都存在。如何建立單一模型包含三種流態,用于計算螺桿真空泵抽速曲線和功率曲線等工作特性,用于樣機的優化設計具有重要的意義。目前,已有很多學者對螺桿真空泵的工作特性進行了研究只在一個特定的流態有良好的精度,傳統的計算方法一般對單一模型有效,比如積分法對粘滯流計算有效,而蒙特卡洛法計算分子流非常有用的。
           螺桿真空泵螺桿采用螺旋式設計,導致其在運轉過程中,通道也跟隨著規律性、周期性的變化,引起氣流返流也規律性、周期性的變化,氣體分布于若干個封閉的工作型腔中,在同一封閉工作型腔中,有若干個通道,隨著螺桿真空泵的旋轉,逐漸輸送到排氣口,內壓縮螺桿真空泵泵,中間有壓縮級,工作過程更復雜。
           由于螺桿真空泵型腔內部都有三種流態:粘滯、克努森和分子流,同時在不同地點被發現,因此,有必要研究包含三種流態,建立設計和操作參數與工作性能標間的分析計算模型,定量化精確分析計算內壓縮螺桿真空泵的工作特性,為快速開發內壓縮螺桿真空泵提供設計方法和技術支撐。
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